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SRBZ820C-SMSX

關鍵字導讀: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

描述:磁流體密封、網絡化控制器、MCBF大于1000萬次,SEMI認證S2,F47,迎合個性化設計具有手臂長度、自由度可選,手指及接口用戶可定制的特征,耐腐蝕,動態糾偏和碰撞保護功能。

簡介

Introduction

采用先進的磁流體密封技術,具有噪音小、振動小、運行平穩、精度高等特點。具有更靈敏的碰撞保護功能,有效保護機械手和客戶晶圓。全新的軌跡規劃,提高運動節拍,提高了用戶產能。安全區保護等功能有效地提高了產品的安全等級。在半導體前道高端設備中廣泛應用,對設備可靠性要求高。靈活的本地化、可定制化服務,快速響應的售后服務,以及敦實的技術實力,是我們的主要競爭力。推動了國內半導體產業鏈的進步,有效的支撐了國內設備商的發展。


參數

Parameter

參數:

型號

SRBZ820C-SMSX

密封方式

磁流體密封

自由度數

2

負載

名稱

托盤

直徑

Φ330mm

重量

1.5kg

最大運動范圍

R軸(mm

立柱中心至R軸最大伸展處被搬運物體中心距離820

θ軸(°)

360

全行程最小時間

R軸(s

2.5

θ軸(s

4.8

重復定位精度

θ軸(°)

±0.013σ)

R軸(mm

±0.13σ)

重量

機械手本體

41kg

控制器

15kg

耐真空度(Pa)

5×10-9 Torr

漏率

1×10-9 std.cc/sec He

碰撞保護

盤片和機械手無損傷

行程

820mm

電源范圍   電壓波動范圍

單相交流208V     +10%-15%


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